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CVD气相沉积炉 高温紧固件化学气相沉积涂层设备 顶立科技 厂家直销
| 加工定制 : | 是 | 品牌 : | 顶立科技 |
| 类型 : | 沉积炉 | 型号 : | HCVD系列 |
| 别名 : | 化学气相沉积炉 | 适用范围 : | 炭炭刹车盘、陶瓷基复合材料 |
| 炉膛 高温度 : | 1500 | 工作温度 : | 1500 |
| 工作室尺寸 : | 600*600*900 | 加热方式 : | 电阻/感应 |
| 极限真空度 : | 1-100Pa |
电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用智能压力调控，压力波动小；
全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级 尾气处理系统，环境友好，易清理；
可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
可用于高温热解炭沉积， 高温度可达2200℃；
适用于工艺气氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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