北京雅格隆CVD-1700系统厂家直销石墨烯制备专用炉化学气象沉积设备

          炉管尺寸

60*1000mm

          额定电压

AC220V  50/60Hz

       设备总功率

7kw

          炉体结构

双层壳体结构，配有风冷系统，可使炉体表面快速降温

          温控仪表

具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序

工作温度

温度1700℃，连续工作温度≤1600℃；控温精度±1℃

升温速度

推荐≤10℃/min， 快升温速度30℃/min

加热元件

硅钼棒

炉膛材质

氧化铝多晶体纤维  

炉管材质

刚玉管

测温元件

B型热电偶

工作正压

0.02mpa

  加热区/恒温区

300mm/150mm

         供气系统

4路质量供气，量程：0-500ml/min

准确度:±1.5%；重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

        真空系统

极限真空度：1.33*10E-4Pa；抽气速率：600L/S

复合真空计：ZDF-5227

电阻规：KF25，ZJ-52；电离规：KF25，ZJ-27

        操作安全

开门断电、超温报警、漏电保护功能

        质量保证

质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等

标准配置

防护手套1双；坩埚钳1把；坩埚舟1只；刚玉管1根；炉塞4个；炉勾1把；6号内六角（法兰专用）1个；水冷法兰2个；高压气管1套；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。