| 加工定制 : | 否 | 品牌 : | SENTECH |
| 型号 : | SENpro | 用途 : | 多角度或单角度入射快速测量并分析数据 |
| 别名 : | 椭偏仪 | 规格 : | 1 |
SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪
SENpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表, 操作简易, 多角度或单角度入射快速测量并分析数据。 SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱，并同椭偏测量数据结合分析。使用补偿器，可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。
SENpro 带有光谱椭偏仪分析软件 SpectraRay LT，可对系统硬件控制和数据分析， 如测量数据、建模、拟合和输出结果。
主要应用:
1，测量透明薄膜的厚度和折射率（厚度范围0.1 nm - 10,000 nm），可工作于透明或吸收基底。 ,
2，测量多层膜
3，分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜
4，测量光刻胶的光学常数
5，分析有机薄膜
6，测量各向异性材料和薄膜
