日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型

EX700全新数字式气体质量流量计

EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”

Excellent以“ 的功能”为理念进行产品化。

从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。

搭载新型高性能传感器的低成本模型

小型轻量、单电源DC24V驱动

搭载RS-485通信功能标准

RoHS、CE标准对应

用显示器一体型简单操作：

瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定

上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀

性能参数

 EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
 
量程(N2)
 10SCCM-200SLPM
 
气体
 非腐蚀气体，部分腐蚀气体
 
精度
 10SCCM-20SLM

±1.0%FS
 50-200SLM

±1.5%FS
 
重复性
 ±0.2%FS
 
响应时间
 2秒以内
 
耐压
 1.0Mpa
 
温度范围
 5~50℃
 
精度保证温度
 15~35℃
 
保存温度
 -10~60℃
 
湿度范围
 10-90%RH(不能结露)
 
材质
 本体SUS316、SUS316L
 
密封圈VITON、NBR、PTFE
 
电气接口
 DB9
 
通讯
 RS485，Modbus-RTU
 
输出信号
 0-5V1-5V4-20mA可选
 
供电电压
 +24VD
 
消耗电路
 100mA
 
管路连接
 1/4卡套，20SLM以内

3/8卡套，50-200SLM
 
可选
 针阀
 

电气连接

DB9针脚定义：

针脚
 定义
 
1针脚
 电源 +24V
 
2针脚
 电源 COM
 
3针脚
 报警1
 
4针脚
 报警2
 
5针脚
 报警COM
 
6针脚
 模拟输出
 
7针脚
 485+
 
8针脚
 485-
 
9针脚
 模拟、通讯COM


 

使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。

 

在真空镀膜应用中，将压力控制装置置于真空镀膜的上游，可以节省时间、成本，提高真空镀膜工具的精度U形管内的扭矩与通过流体的质量流量直接成正比?真空沉积系统上游压力控制使用艾里卡特集成式真空控制器（IVC）代替下游节流阀和PID控制模块，降低真空沉积系统成本由于质量流量计是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用2.通过运算模块传递新鲜空气量信息气体质量流量控制器在获取新鲜空气量的相关数据后，会通过通讯模块将新鲜空气量的信息传递给控制模块而这种损毁区，经过回火的热处理后即可复原因为热处理淬火炉中包含生成气氛、分解气氛和单元素气氛等多类气体成分，某些大、中型铝合金产品零部件的淬火热处理作业需要更加的气体气氛比如测量液氮、测量介质密度及测试液体流量等，现在就质量流量控制器的使用需要注意哪些细节作简要论述：1.减少外界振动质量流量控制器的安装与使用相对来说还是十分简单的，只要确保安装正确并且校准零点即可使用二、系统冷热不均气象，进步供热（供冷）风致



而量热式测量计则有两个温度传感器被放置于被测介质，既方便于感应介质温度又方便于感应环境温度，若是介质流速增加，那么两个温度传感器的温度差将随介质的流速变化而变化气体质量流量控制器/质量流量计广泛用于钢铁厂、焦化厂、石油、化工、热力、热电厂、环保等行业气体流量控制器强大的性价比及灵活的测量能力是它纵横多个行业的根本原因质量流量计/质量流量控制器是新型动态计量的计量，广泛应用于流体的交接计量气体质量流量转换系数C的基本公式：C=0.3106N/ρ(Cp)其中：ρ——为气体的密度CP——为气体的定压比热N——为气体分子构成系数(与该气体分子构成的组份有关而如果是多组份混合气体，则计算相对要复杂些(假定由n种气体组成)，按下列公式计算其转换系数C：0.3106[N1(ω1/ωT)+N2(ω2/ωT)+···+Nn(ωn/ωT)]C=———————————————————————————ρ1Cp1(ω1/ωT)+ρ2Cp2(ω2/ωT)+···+ρnCpn(ωn/ωT)其中：ω1…ωn——为相应气体的流量ωT——为混合气体的流量ρ1…ρn——为相应气体的密度(数值见产品技术说明书)CP1…CPn——为相应气体的定压比热(数值见产品技术说明书)N1…Nn——为相应气体的分子构成系数质量流量控制器/质量流量计采用气体系数的方法计算标定，可以大幅度降低多气体产品的标定使用难度，同时结合数字产品技术，可以使一台产品同时具备多种不同气体的使用能力，解决了气体辅助生产制造比如半导体行业气体使用种类繁多的问题，同时也大大降低行业使用成本体积是指物体所占空间的多少，物体体积随压力、温度和其它一些因素的变化而变化5.输出信号多MCH系列气体质量流量控制器在需要的流速下，度为±0.4%的读数和±0.2%的全量表同时气体质量流量控制器/质量流量计又有很宽的工作压力范围，气体质量流量控制器可以适用于多种气体介质，并且还有很宽的流量方法